CLAMP FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号KR20050077519-传众专利搜索

发明名称	CLAMP FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	KR20070023207(A)	申请公布日期	2007.02.28
申请号	KR20050077519	申请日期	2005.08.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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