发明名称 ELECTROCHEMICAL ETCHING INSTALLATION AND METHOD FOR ETCHING A BODY TO BE ETCHED
摘要
申请公布号 EP1181400(B1) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20000922440 申请日期 2000.03.17
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 ARTMAN, HANS;FREY, WILHELM;LAERMER, FRANZ
分类号 C25F7/00;C25D11/32;C25F3/12;H01L21/3063 主分类号 C25F7/00
代理机构 代理人
主权项
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