激光微影装置

摘要

一种激光微影装置，包括一激光源、一光束准直装置、一干涉装置，一光束会聚装置及一光照基底。激光源发出激光，光束准直装置将该激光束准直为平行光束。干涉装置将该平行光束分为若干频率、光波长相同的相干光束。相干光束发生相干干涉后由光束会聚装置会聚并投射至光照基底上，光照基底对会聚光束感光并记录干涉图样。所述激光微影装置所得到的干涉条纹明暗对比度高，条纹结构细微，光利用效率高。

主权项

1.一种激光微影装置，包括同光轴设置的一光源、一干涉装置、一光束会聚装置及一光照基底，所述光源可发出一光束，其特征是：所述干涉装置将光束分成多束相干光束，所述相干光束发生相干干涉后被所述光束会聚装置会聚成为会聚光束并投射于所述光照基底上，所述光照基底接收所述会聚光束并保留所述会聚光束所形成的图样信息。