| 发明名称 |
CONDUCTIVE ETCH STOP FOR ETCHING A SACRIFICIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1532658(A4) |
申请公布日期 |
2007.02.28 |
| 申请号 |
EP20030734278 |
申请日期 |
2003.05.30 |
| 申请人 |
SILICON LIGHT MACHINES CORPORATION |
发明人 |
HUNTER, JAMES, A. |
| 分类号 |
G02B26/08;B81B3/00;B81C1/00;H01L21/00;(IPC1-7):B81C1/00;H01L27/14;H01L29/82;H01L29/84 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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