一种高效率深紫外发光二极管

摘要

本发明涉及发光二极管技术领域的一种深紫外发光二极管结构。该结构利用了等离激元效应，表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波，表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的，同时该金属薄膜又具有电极接触的功能。其基本结构是将一般MIS发光二极管的金属部分采用具有可以产生表面等离激元的周期性结构的。

主权项

1.一种深紫外发光二极管，其特征在于：利用等离激元效应来提高光发射的量子效率的MIS紫外发光二极管结构，表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波，表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的，同时该金属薄膜又具有电极接触的功能。