用于支撑生长中的半导体材料单晶的支撑装置以及制造单晶的方法

摘要

本发明涉及在根据Czochralski坩埚拉伸法工作的拉晶设备内支撑半导体材料单晶(8)的细颈(81)处的增粗部分(82)的支撑装置(1)，其在下部区域内具有中心开口的承重装置(121、122)，中心点位于垂直轴(16)上的直径为D₁的圆在水平面内与中心开口内接，承重装置(121、122)通过一个或更多个连接元件(132、133、134)与至少一个固定元件(14)相连，固定元件(14)适于固定在拉晶设备的升降装置(2)上，安装连接元件(132、133、134)使紧临承重装置(121、122)上方的区域内留有自由的空间，中心点位于轴(16)上且其直径大于D₁的圆在任意水平面内与空间内接，其特征在于，支撑装置(1)本身是固定的。本发明还涉及利用支撑装置制造半导体材料单晶的方法。

主权项

1、支撑装置(1)，其用于在根据Czochralski坩埚拉伸法工作的拉晶设备内支撑半导体材料单晶(8)的细颈(81)处的增粗部分(82)，该支撑装置(1)在其下部区域内具有中心开口的承重装置(121、122)，中心点位于垂直轴(16)上的直径为D1的圆在水平面内与该中心开口内接，而该承重装置(121、122)通过一个或更多个连接元件(132、133、134)与至少一个安装在承重装置(121、122)上方的固定元件(14)相连，该固定元件(14)适合于固定在该拉晶设备的升降装置(2)上，安装这些连接元件(132、133、134)，使紧临承重装置(121、122)上方的区域内留有自由的空间，中心点位于轴(16)上且其直径D2大于直径D1的圆在任意的水平面内与该空间内接，其特征在于，该支撑装置(1)本身是固定的。