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发明名称 Method of making a ferroelectric thin film, a ferroelectric capacitor, and a ferroelectric memory
摘要
申请公布号 EP1077478(B1) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20000117649 申请日期 2000.08.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 NASU, TORU;HAYASHI, SHINICHIRO
分类号 H01L21/314;H01L21/316;H01L27/04;H01L21/02;H01L21/8246 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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