发明名称 micrewave resonance plasma generating apparatus and plasma processing system having the same
摘要
申请公布号 KR20070023396(A) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 KR20050077941 申请日期 2005.08.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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