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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR20070022456(A)
申请公布日期
2007.02.27
申请号
KR20050076697
申请日期
2005.08.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L21/304
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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