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发明名称
A METHOD FOR ETCHING HIGH DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS
摘要
申请公布号
KR20070022608(A)
申请公布日期
2007.02.27
申请号
KR20060078958
申请日期
2006.08.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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