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发明名称
RESIST APPLYING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING RESIST APPLYING PROCESS
摘要
申请公布号
KR100687156(B1)
申请公布日期
2007.02.27
申请号
KR20010048439
申请日期
2001.08.11
申请人
发明人
分类号
G03F7/16;H01L21/027;B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05D1/40;B05D3/00
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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