发明名称 RESIST APPLYING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING RESIST APPLYING PROCESS
摘要
申请公布号 KR100687156(B1) 申请公布日期 2007.02.27
申请号 KR20010048439 申请日期 2001.08.11
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;H01L21/027;B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05D1/40;B05D3/00 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
地址