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经营范围
发明名称
Chemically amplified positive resist composition
摘要
申请公布号
KR100687464(B1)
申请公布日期
2007.02.27
申请号
KR20010009715
申请日期
2001.02.26
申请人
发明人
分类号
G03F7/039;G03F7/004
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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