Vorrichtung und Verfahren zum Bewegen eines Mess- oder Arbeitskopfes

摘要

Eine Vorrichtung, insbesondere ein Koordinatenmessgerät, besitzt eine Antriebsmechanik zum Verfahren eines Mess- oder Arbeitskopfes und einen aktiven Schwingungstilger zum Unterdrücken einer Schwingbewegung des Mess- oder Arbeitskopfes. Der aktive Schwingungstilger beinhaltet eine eigenständig bewegbare Masse und eine Regelschaltung, die die Masse gegenläufig zu der Schwingbewegung bewegt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist die Masse (38) weitgehend unbedämpft gelagert und es ist ein Rückstellmechanismus (56) vorgesehen, der dazu ausgebildet ist, die Masse (38) im Bereich einer Mittelpunktlage zu halten.