发明名称 WAFER-SPANNFUTTER, BELICHTUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
摘要
申请公布号 DE60125935(D1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 DE20016025935 申请日期 2001.01.26
申请人 HITACHI TOKYO ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 KOBAYASHI, SEIICHIRO;KOYANAGI, KOICHI;HONDA, TERUO;SAEKI, HIDEO;MOTOHASHI, MASAHARU
分类号 H01L21/68;B23Q3/08;B25B11/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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