apparatus and method for photolithography, and manufacturing method for a thin film transistor array panel of a liquid crystal display using the same,申请号KR20000012486-传众专利搜索

发明名称	apparatus and method for photolithography, and manufacturing method for a thin film transistor array panel of a liquid crystal display using the same
摘要
申请公布号	KR100686228(B1)	申请公布日期	2007.02.22
申请号	KR20000012486	申请日期	2000.03.13
申请人		发明人
分类号	G02F1/136;G02F1/1368;G02F1/1362;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786	主分类号	G02F1/136
代理机构		代理人
主权项
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