发明名称 Evaporation of metal or metalloids
摘要
申请公布号 US3171017(A) 申请公布日期 1965.02.23
申请号 US19600003166 申请日期 1960.01.18
申请人 EDWARDS HIGH VACUUM LIMITED 发明人 SIDDALL GEORGE;HOLLAND LESLIE A.;HILLIARD ALFRED
分类号 C23C14/26;C23C14/32 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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