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发明名称
Evaporation of metal or metalloids
摘要
申请公布号
US3171017(A)
申请公布日期
1965.02.23
申请号
US19600003166
申请日期
1960.01.18
申请人
EDWARDS HIGH VACUUM LIMITED
发明人
SIDDALL GEORGE;HOLLAND LESLIE A.;HILLIARD ALFRED
分类号
C23C14/26;C23C14/32
主分类号
C23C14/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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