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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Temperatur in einer thermischen Reaktorkammer
摘要
申请公布号
DE69933494(T2)
申请公布日期
2007.02.22
申请号
DE19996033494T
申请日期
1999.03.11
申请人
MATTSON TECHNOLOGY INC.
发明人
CHAMPETIER, ROBERT J.
分类号
G01J5/00;G01J5/02;G01J5/10
主分类号
G01J5/00
代理机构
代理人
主权项
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