发明名称 VERFAHREN ZUR TROCKENÄTZUNG
摘要
申请公布号 DE69737237(D1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 DE19976037237 申请日期 1997.10.30
申请人 JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR-GENERAL, AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;THE MECHANICAL SOCIAL SYSTEMS FOUNDATION;ELECTRONIC INDUSTRIES ASSOCIATION OF JAPAN;ZEON CORP. 发明人 SEKIYA, AKIRA;YAMADA, TOSHIRO;GOTO, KUNIAKI;TAKAGAKI, TETSUYA
分类号 H01L21/306;H01L21/311 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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