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发明名称
Homogenisierapparat für einen optischen Strahl, Verfahren und Vorrichtung zur Laserbeleuchtung, und Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号
DE69836851(D1)
申请公布日期
2007.02.22
申请号
DE19986036851
申请日期
1998.09.30
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO. LTD.
发明人
TANAKA, KOICHIRO
分类号
G02B27/09;G02F1/136;H01L21/20
主分类号
G02B27/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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