发明名称 Homogenisierapparat für einen optischen Strahl, Verfahren und Vorrichtung zur Laserbeleuchtung, und Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE69836851(D1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 DE19986036851 申请日期 1998.09.30
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO. LTD. 发明人 TANAKA, KOICHIRO
分类号 G02B27/09;G02F1/136;H01L21/20 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
主权项
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