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发明名称 In-Situ-Oberflächenbehandlung zur Bildung von Speicherzellen
摘要
申请公布号 DE112005000724(T5) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 DE200511000724 申请日期 2005.02.11
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 HUI, ANGELA T.
分类号 H01L21/00;H01L21/311 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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