| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG EINER OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN UNTER VAKUUM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60311137(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.22 |
| 申请号 |
DE20036011137 |
申请日期 |
2003.11.11 |
| 申请人 |
IMPACT COATINGS AB |
发明人 |
LJUNGCRANTZ, HENRIK;ROSELL, TORSTEN |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/54;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
