发明名称 ZWEISCHICHT-CMP-PROZESS ZUR VERBESSERUNG DER OBERFLÄCHENRAUHHEIT EINES MAGNETISCHEN STAPELS IN MRAM-TECHNOLOGIE
摘要
申请公布号 DE60311131(D1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 DE20036011131 申请日期 2003.11.05
申请人 QIMONDA AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 COSTRINI, GREG;HUMMEL, P.;KRISHNAN, MAHADEVAIYER;LOW, KIA-SENG
分类号 G11C11/16;H01F10/26;H01F10/32;H01F41/30;H01L27/22;H01L43/12 主分类号 G11C11/16
代理机构 代理人
主权项
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