发明名称 ALIGNMENT KEY IN PANEL AND METHOD FOR ALIGNING THE PANEL USING THE KEY
摘要
申请公布号 KR100686238(B1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 KR20000050545 申请日期 2000.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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