发明名称 Lift pin unit used in oven chamber for LCD glass substrate
摘要
申请公布号 KR20070020641(A) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 KR20050074764 申请日期 2005.08.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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