发明名称 Micromechanical component
摘要 A micromechanical component has a structure such that a material flow is guided from at least one preferred direction for the purpose of uniformly enveloping the micromechanical component.
申请公布号 US2007040230(A1) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 US20060493702 申请日期 2006.07.24
申请人 REICHENBACH FRANK;HAAG FRIEDER;KAELBERER ARND 发明人 REICHENBACH FRANK;HAAG FRIEDER;KAELBERER ARND
分类号 B81C99/00;H01L29/82 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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