| 主权项 |
1.一种控制电路,其系适用于具有一感应器之终点 侦测装置且与一半导体机台连接,其中该感应器系 用以接收一晶圆表面所反射之光波信号,该控制电 路系包含: 一位阶调整电路,其系受一操作者之触发而产生一 位阶调整信号; 一增益调整电路,其系受该操作者之触发而产生一 增益调整信号;以及 一补偿电路,其系与该位阶调整电路、该增益调整 电路及该半导体机台连接,并接收该光波信号,用 以根据该位阶调整信号及/或该增益调整信号之内 容对该光波信号之波形进行补偿,且因应该补偿后 之光波信号产生一控制信号,以控制该半导体机台 之运作。 2.如申请专利范围第1项所述之控制电路,其中该终 点侦测装置系为一光学侦测装置。 3.如申请专利范围第1项所述之控制电路,其中该半 导体机台系为一蚀刻机台。 4.如申请专利范围第1项所述之控制电路,其中该位 阶调整电路系用以调整该光波信号之起始点。 5.如申请专利范围第1项所述之控制电路,其中该增 益调整电路系用以调整该光波信号之增益値。 6.一种终点侦测装置,其系适用于一半导体机台,该 终点侦测装置包含: 一感应器,用以接收一晶圆表面所反射之光波信号 ; 一控制电路,其系与该感应器连接,该控制电路包 含: 一位阶调整电路,其系受一操作者之触发而产生一 位阶调整信号; 一增益调整电路,其系受该操作者之触发而产生一 增益调整信号;以及 一补偿电路,其系与该位阶调整电路、该增益调整 电路及该半导体机台连接,并接收该光波信号,用 以根据该位阶调整信号及/或该增益调整信号之内 容对该光波信号之波形进行补偿,且因应该补偿后 之光波信号产生一控制信号,以控制该半导体机台 之运作。 7.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其中 该终点侦测装置系为一光学侦测装置。 8.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其中 该半导体机台系为一蚀刻机台。 9.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其中 该位阶调整电路系用以调整该光波信号之起始点 。 10.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其 中该增益调整电路系用以调整该光波信号之增益 値。 11.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其 中该控制电路更包含一放大电路,其系与该感应器 及该控制电路连接,用以放大该光波信号。 12.如申请专利范围第6项所述之终点侦测装置,其 中该控制电路更包含一放大电路,其系与该半导体 机台及该控制电路连接,用以放大该控制信号。 图式简单说明: 第一图(a):其系为习知终点侦测装置之运作示意图 。 第一图(b):其系为习知终点侦测装置使用增益控制 调整钮调整光波波形所产生之过大或过小之光波 波形图。 第二图:其系为本案第一较佳实施例之终点侦测装 置之电路方块示意图。 第三图:其系为当光波信号发生信号异常的情况时 藉由位阶调整电路以及增益调整电路调整的光波 波形图。 第四图:其系为本案第二较佳实施例之终点侦测装 置之电路方块示意图。 |
