| 主权项 |
1.一种具有光学定位功能之透光晶圆,包括: 一透光基板,该透光基板的边缘具有一定位标记; 以及 一不透光层,至少沿着该透光基板表面之周边区域 而设置,该不透光层能够吸收或反射侦测光线,使 该透光晶圆得以藉由该定位标记之侦测而定位。 2.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该不透光层设置于该透光基板之 正面或背面至少其中之一。 3.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该不透光层的材质包括选自树酯 墨水与甘油酯墨水所组成的群组。 4.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该不透光层为不透光隔热纸。 5.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该不透光层为透明电极/液晶/透 明电极之复合结构。 6.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该不透光层包括由偏光轴方向不 同之至少二偏光板组合而成。 7.如申请专利范围第1项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆,其中该透光基板的材质包括石英、玻 璃及透明塑胶其中之一。 8.一种具有光学定位功能之透光晶圆的制作方法, 包括: 提供一透光基板,该透光基板的边缘具有一定位标 记;以及 至少沿着该透光基板表面之周边区域形成一不透 光层,该不透光层能够吸收或反射侦测光线。 9.如申请专利范围第8项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆之制作方法,更包括于该透光基板之正 面或背面至少其中之一的周边区域形成该不透光 层。 10.如申请专利范围第8项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆之制作方法,其中该不透光层的材质包 括选自树酯墨水与甘油酯墨水所组成的群组。 11.如申请专利范围第8项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆之制作方法,其中该不透光层为不透光 隔热纸。 12.如申请专利范围第8项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆之制作方法,其中该不透光层为透明电 极/液晶/透明电极之复合结构。 13.如申请专利范围第8项所述之具有光学定位功能 之透光晶圆之制作方法,其中该不透光层包括由偏 光轴方向不同之至少二偏光板组合而成。 14.如申请专利范围第8项所述之透光晶圆之制作方 法,其中该透光基板的材质包括石英、玻璃及透明 塑胶其中之一。 15.一种具有光学定位功能之透光晶圆的定位方法, 该方法包括: 提供具有光学定位功能之一透光晶圆,该透光晶圆 包括: 一透光基板,该透光基板的边缘具有一定位标记; 以及 一不透光层,至少沿着该透光基板表面之周边区域 而设置; 提供一光学感测元件,用来侦测该透光晶圆,该光 学感测元件发射出之一侦测光线为该不透光层所 吸收或反射;以及 移动该透光晶圆,直至该光学感测元件侦测到该透 光基板之该定位标记。 16.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该不透光层设置于 该透光基板之正面或背面至少其中之一。 17.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该不透光层的材质 包括选自树酯墨水与甘油酯墨水所组成的群组。 18.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该不透光层为不透 光隔热纸。 19.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该不透光层为透明 电极/液晶/透明电极之复合结构。 20.如申请专利范围第19项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,更包括提供一外加电压 来控制该不透光层对于该侦测光线之通过与否。 21.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该不透光层包括由 偏光轴方向不同之至少二偏光板组合而成。 22.如申请专利范围第15项所述之具有光学定位功 能之透光晶圆的定位方法,其中该透光基板的材质 包括石英、玻璃及透明塑胶其中之一。 图式简单说明: 图1是绘示习知的半导体设备之示意图。 图2是绘示习知一种于半导体设备中侦测石英晶圆 的方法之示意图。 图3是绘示本发明一实施例之一种具有光学定位功 能之透光晶圆的上视图。 图4是绘示沿着图3中I-I'线之剖面示意图。 图5是绘示本发明一实施例之一种透光晶圆的定位 方法所使用的半导体设备示意图。 |
