| 主权项 |
1.一种集体照明装置,其特征系藉由将照明光照射 于大型基板表面进行目视检查,其具备: 射出前述照明光之光源部;及 将前述光源部所射出之前述照明光聚集,针对小于 前述大型基板的领域执行集体照明的会聚透镜;及 使前述会聚透镜透过二次元移动,并以前述照明光 扫描前述大型基板全面之二次元移动机构。 2.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其中 前述大型基板为可变更前述集体照明的照射角度 之可摇动支撑架上所支撑为其特征者。 3.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其中 前述二次元移动机构,系使前述会聚透镜透过二次 元移动,并以前述聚集的前述照明光,自动扫描前 述大型基板上预设之集体照明领域为其特征者。 4.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其中 前述二次元移动机构,系使前述会聚透镜沿着扫描 路径,以低速连续移动为其特征者。 5.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其中 前述二次元移动机构,系使前述会聚透镜,以一步 一步(Step)的方式移动为其特征者。 6.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其中 所大型基板是由该基板面上具有复数倒角领域的 大型玻璃基板所构成,另所述之二次元移动机构系 依前述各倒角领域上所预设之顺序,让会聚透镜移 动为其特征者。 7.如申请专利范围第6项所述之集体照明装置,其中 所述之二次元移动机构系使前述会聚透镜沿着各 倒角领域上所预设之扫描路径,以低速连续让会聚 透镜移动为其特征者。 8.如申请专利范围第6项所述之集体照明装置,其中 所述之二次元移动机构系使前述会聚透镜在前述 大型玻璃基板上的前述各倒角领域之间,以一步一 步(Step)性的方式移动为其特征者。 9.如申请专利范围第6项所述之集体照明装置,其中 前述大型基板系由该基板面上具有复数倒角领域 的大型玻璃基板所构成; 前述二次元移动机构系由具有相对于前述大型基 板上之任意倒角领域XY四方向移动的四方向开关 的会聚透镜所构成为其特征者。 10.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,不 但将前述集体照明领域进行复数分割;且前述二次 元移动机构系指具有对应于各分割后的分割领域 的分配后位置开关,藉由操作该位置开关以将前述 会聚透镜移动至分配给该位置开关的预设领域的 位置为其特征者。 11.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中将前述大型基板系由具有复数倒角领域的基板 面之大型玻璃基板所构成; 而前述位置开关系可由相对于前述大型基板之各 倒角领域加以分配为其特征者。 12.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述二次元移动机构中,会聚透镜可对应于大型 基板上的复数集体照明领域的每个位置做点移动 为其特征者。 13.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述会聚透镜系由用于将前述照明光聚集成平 行光束之第一法兰绒透镜所构成为其特征者。 14.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述会聚透镜系由用于将前述照明光聚集成平 行光束之第一法兰绒透镜,以及用于将前述第一法 兰绒透镜所形成之前述照明光聚集为平行光束之 第二法兰绒透镜为其特征者。 15.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中会聚透镜系将小口径的凸透镜配列成复数个矩 阵状而构成为其特征者。 16.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述会聚透镜为了能够按照前述大型基板集体 照明领域的大小而改变,具备不同照射角的复数会 聚透镜为其特征者。 17.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部与前述大型玻璃基板之间设有散射 部,前述散射部系将前述会聚透镜所聚集的前述照 明光散射,并照射于前述大型基板为其特征者。 18.如申请专利范围第17项所述之集体照明装置,其 中前述散射部具备透过型液晶散射板,前述液晶散 射板可切换成通过前述会聚透镜所聚集的会聚光 的状态,或让前述会聚光散射的状态为其特征者。 19.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部具备复数个同一种类的光源,当使用 中的前述光源无法再使用时,可切换成全新的备用 光源为其特征者。 20.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部系藉由光纤,将前述照明光传送至前 述会聚透镜为其特征者。 21.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部具备复数个光源,以及将传送这些光 源所射出之前述各照明光的复数个光纤,在前述会 聚透镜之一侧构成由分岐型光纤组成的的可合流 光纤,同时上述复数光源可选择的点灯为其特征者 。 22.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部具备可调整照射于大型基板的集体 照明亮度的调整部为其特征者。 23.如申请专利范围第21项所述之集体照明装置,其 中前述光源部中分岐型光纤的射出端侧设有对应 于会聚透镜的有效面积之照射照明光的透镜为其 特征者。 24.如申请专利范围第23项所述之集体照明装置,其 中前述透镜具有调整焦距功能,可调整照射于前述 大型基板的前述集体照明范围的大小为其特征者 。 25.如申请专利范围第24项所述之集体照明装置,其 中前述大型基板系由该基板面上具有复数倒角领 域的大型玻璃基板所构成,前述焦距功能系可按照 前述大型玻璃基板上的前述各倒角领域的大小而 改变前述照明光的放射角,以调整前述集体照明范 围的大小为其特征者。 26.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述光源部系具备各有不同波长的复数个光源, 按照前述大型基板上的缺陷部的种类,以切换这些 光源,进行点灯之操作为其特征者。 27.如申请专利范围第1项所述之集体照明装置,其 中前述二次元移动机构系具备形成略为正方形开 口部的基座(base);在前述基座的前述开口部上沿着 对向的2边,以相互平行的方式而设置的Y轴向滑轨( guide);以自由移动的方式而设置于前述Y轴向滑轨 上,且以前述开口部的约一半大小形成长方形开口 部的Y轴载物台;在前述Y载物台的前述开口部上沿 着对向的长方向的2边,以互为平行的方式而设置 的X轴直线滑轨;以自由移动的方式而设置于前述X 轴直线滑轨上,且以前述长方形的前述开口部的约 一半大小形成正方形开口部的X载物台,并在前述X 载物台的前述开口部上设有将前述光源部与前述 会聚透镜结合成一体的照明箱为其特征者。 28.如申请专利范围第27项所述之集体照明装置,其 中前述照明箱系配备有面对于前述X载物台的前述 开口部而设置的前述会聚透镜;使该会聚透镜所聚 集之前述照明光散射,并以其散射光照射至前述大 型基板上的散射部为其特征者。 29.如申请专利范围第27项所述之集体照明装置,其 中前述照明箱系使前述会聚透镜面对前述X载物台 的开口部而设置,且在前述X载物台的开口部上配 备有使前述会聚透镜所聚集之前述照明光散射,并 以其散射光照射至前述大型基板上的散射部为其 特征者。 30.如申请专利范围第27项所述之集体照明装置,其 中将前述光源部所射出之前述照明光,藉由光纤导 向于前述会聚透镜,且将前述光纤射出端连接之前 述照明箱为其特征者。 31.如申请专利范围第27项所述之集体照明装置,其 中前述光源部系具有配置于前述光纤射入端的卤 素灯;以及配置于前述照明箱内的纳(Na)灯,并将前 述光纤射出端及前述钠灯设置于前述照明箱的同 一横侧面,且将前述光纤所射出之照明光及钠灯所 照射之照明光朝向前述会聚透镜反射之透镜倾斜 于照明箱内部而设置为其特征者。 32.如申请专利范围第31项所述之集体照明装置,其 中前述卤素灯系邻接于前述照明箱而设置,且可收 纳于其他照明箱为其特征者。 图式简单说明: 图一系本发明适用于集体照明装置的第一实施例 形态集体检查装置的外观构成图。 图二系本发明集体照明装置的基本概念构成图。 图三系表示本发明集体照明装置的第一实施例具 体构成图。 图四系有关本发明集体照明装置的第一实施例形 态的照明领域移动机构的上视图。 图五系有关本发明集体照明装置的第一实施例形 态的四倒角玻璃基板相对于集照明顉域的表示图 。 图六系有关本发明集体照明装置的第一实施例形 态的六倒角的玻璃基板相对于集照明顉域的表示 图。 图七系有关本发明集体照明装置的第二实施例形 态的照明箱的构成图。 图八系有关本发明集体照明装置的第三实施例形 态的照明箱的构成图。 图九系有关本发明集体照明装置的第四实施例形 态的照明箱的构成图。 图十系有关本发明集体照明装置的第五实施例形 态的光源群及照明箱的构成图。 图十一系有关本发明集体照明装置的第五实施例 形态的变形实施例构成图。 图十二系有关本发明集体照明装置的第五变形实 施例回转板上各滤镜的配置表示图。 图十三系有关本发明集体照明装置的第五实施例 形态的变形实施例构成图。 图十四系有关本发明集体照明装置的第五变形实 施例回转板上的ND滤镜表示图。 图十五系有关本发明集体照明装置的第六实施例 形态的构成图。 图十六系有关习用集体照明装置的构成图。 |
