| 发明名称 | 等离子加工用的静电夹紧边环 | ||
| 摘要 | 一种联接环组合件包括被静电边环夹盘支承的边环，和一种在等离子加工室内改进边环温度控制的方法。边环可用导电材料如硅和碳化硅制成，而边环的温度控制可将热转移气体如氦供应到边环和边环夹盘之间的两个相对的表面上来增强。 | ||
| 申请公布号 | CN1917164A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
| 申请号 | CN200610159201.1 | 申请日期 | 2001.09.26 |
| 申请人 | 兰姆研究公司 | 发明人 | 杰罗姆·S·胡巴塞克 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/00(2006.01);C23F4/00(2006.01);H05H1/00(2006.01);H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王彦斌 |
| 主权项 | 1.一种用于围绕等离子反应室内基片支承的联接环，包括：一个环形支承表面；和一个在支承表面上的静电夹盘。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||