片状电阻的制造方法

摘要

本发明涉及片状电阻的制造方法。为了提供即便外形尺寸小型化也可以简单且高精度地形成端面电极的片状电阻，在大幅基板(12A)上一起形成与各个片状区域相对应的表面和背面两面电极(14、18)和电阻体(13)以及保护膜(17)之后，在该大幅基板(12A)的表面和背面两面上涂敷上部保护层(23)和下部保护层(24)，通过该下部保护层(24)将大幅基板(12A)固定在支撑台(25)上。接着，通过切割在大幅基板(12A)上形成互相平行的多条一次切缝(26)后，通过溅射形成搭接露出于一次切缝(26)内的表面电极(14)和背面电极(18)的彼此端面的端面电极(19)。其次，通过切割形成与一次切缝(26)正交的多条二次切缝(29)，并将大幅基板(12A)细分割成多个片状单体(30)后，通过洗净上部保护层(23)和下部保护层(24)将各个片状单体(30)从支撑台(25)剥离，最后，在各个片状单体(30)的基底电极层上形成镀层(22)从而得到片状电阻(11)的成品。

主权项

1.一种片状电阻的制造方法，具备：在规定尺寸的大幅基板的表面和背面两面上呈矩阵状形成多个电极的电极形成工序；在上述大幅基板的一面上形成两端与上述电极连接的多个电阻体的电阻体形成工序；在上述大幅基板的表面和背面两面上至少要覆盖上述电极地形成保护层的保护层形成工序；将该保护层形成工序后的上述大幅基板固定在支撑台上的基板固定工序；在固定于上述支撑台上的上述大幅基板上形成互相平行的多个一次切缝并二分割连接相邻的上述电阻体的上述电极的一次切缝形成工序；在上述一次切缝的内部通过溅射形成连接表面和背面两面的上述电极彼此的端面电极的端面电极形成工序；在该端面电极形成工序后的上述大幅基板上形成在与上述一次切缝正交方向延长的多个二次切缝的二次切缝形成工序；以及，在该二次切缝形成工序后，将上述大幅基板从上述支撑台上剥离而得到各个零件的零件分离工序。