| 发明名称 | 金属插塞与接触窗的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种金属插塞的制作方法，是先提供一衬底，且衬底具有至少一开口。之后，于开口表面形成一阻障层，再于衬底上形成一金属层并填满开口。然后，对金属层进行一平坦化工艺，以去除开口以外的金属层。本发明的特征是于衬底上形成金属层之后，至少进行一道高温热处理。本发明由于增加高温热处理，因此能够消除不同膜层之间的内应力，并可降低金属插塞的阻抗值。 | ||
| 申请公布号 | CN1917167A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
| 申请号 | CN200510092134.1 | 申请日期 | 2005.08.19 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 洪宗佑;黄建中;谢朝景;许嘉麟 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L21/768(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种金属插塞的制作方法，包括：提供一衬底，该衬底具有至少一开口；于该开口表面形成一阻障层；于该衬底上形成一金属层并填满该开口；以及对该金属层进行一平坦化工艺，以去除该开口以外的该金属层，其中，于该衬底上形成该金属层之后，至少进行一第一高温热处理。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区 | ||