一种高精确度坩埚轴升降驱动装置

摘要

本实用新型涉及升降机构，特别是一种高精确度坩埚轴升降驱动装置。它由坩埚杆、密封圈、大直径油缸、流量调节器、液压站、交流伺服电机和流量控制单元连接，设置将坩埚杆作升降工作，在通过坩埚杆上套有密封圈与大直径油缸连接后，启动伺服电机使液压站运转，通过流量控制单元对流量调节阀进行微调，用户可以根据需要的速度范围内任意设定流量数值，流量通过控制单元可以自动跟踪速度波动，并能自行调整流量，从而稳定对坩埚杆控制。它能克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效地保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足，不仅能克服了升降过程中蠕动或爬行的现象，而且在操作的稳定性和便捷程度都有了改进。

主权项

1、一种高精确度坩埚轴升降驱动装置，其特征在于：在升降驱动装置中，坩埚杆、密封圈、大直径油缸、流量调节器、液压站、交流饲服电机和流量控制单元连接，设置将坩埚杆作升降工作，在通过坩埚杆上套有密封圈与大直径油缸连接后，启动伺服电机使液压站运转，通过流量控制单元对流量调节阀进行微调，用户可以根据需要的速度范围内任意设定流量数值，流量通过控制单元可以自动跟踪速度波动，并能自行调整流量，从而稳定对坩埚杆控制。