| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE POLYSILAZANE COMPOSITION, METHOD OF FORMING PATTERN THEREFROM, AND METHOD OF BURNING COATING FILM THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1239332(B1) |
申请公布日期 |
2007.02.21 |
| 申请号 |
EP20010958459 |
申请日期 |
2001.08.24 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
NAGAHARA, TATSURO;MATSUO, HIDEKI |
| 分类号 |
G03F7/38;C08K5/3492;C08K5/42;C08L83/16;C09D183/16;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/40 |
主分类号 |
G03F7/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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