| 发明名称 | 一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及离子束技术领域，特别是一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法。中和阴极灯丝置于离子束外可避免离子束的直接溅射；中和阴极灯丝电源的正极接地，使得整个中和阴极灯丝处于负电位；在离子源外部采用三灯丝切换方式工作，三个灯丝成环状围绕离子束。中和阴极灯丝具有结构简单、连续工作时间长、工作性能稳定和低污染的特点，在低能离子束薄膜材料制备和离子束刻蚀中有广泛的应用。 | ||
| 申请公布号 | CN1917131A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
| 申请号 | CN200510090637.5 | 申请日期 | 2005.08.18 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 张兴旺;陈诺夫 |
| 分类号 | H01J27/02(2006.01);H01J37/08(2006.01) | 主分类号 | H01J27/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 段成云 |
| 主权项 | 1.一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝，其特征在于：1)中和阴极灯丝置于离子束外可避免离子束的直接溅射；2)新的中和阴极灯丝供电电源的正极接地，使得整个中和阴极灯丝处于负电位；3)在离子源外部采用三灯丝切换方式工作，三个灯丝成环状围绕离子束。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||