角振动激光干涉测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种对旋转台面的角振动进行角振动精确测量和分析的角振动激光干涉测量方法及装置。激光器发出的激光经过透镜、光阑、透镜后实现准直，然后经平行分光单元后，形成平行的两束测量光，其中一路光经过声光调制器调制后，通过平面反射镜组入射到光栅，另一路光经另外的反射镜入射到光栅，在光栅表面形成衍射光，两束光的衍射光重合干涉，通过接收透镜、反射平面镜到达光电转换器表面，转换为电压信号，经电混频处理单元后到达数据采集和处理单元完成角振动的测量。本发明采用的准直单元保证了到达光栅表面的测量光束为平面波；采用声光调制器和电混频技术提高信号信噪比，实现信号正交化；采用光栅作为合作目标，提高信噪比和抗衡向能力。

主权项

1、一种角振动激光干涉测量方法，包括如下步骤：激光器(2)发出的激光经过透镜(3)、光阑(4)、透镜(5)后实现准直，然后经平行分光单元(6)后，形成平行的两束测量光，其中一路光经过声光调制器(10)调制后，通过平面反射镜组(12)(13)入射到光栅(16)，另一路光经反射镜(14)(15)入射到光栅(16)，在光栅表面形成衍射光，两束光的衍射光重合干涉，通过接收透镜(17)、反射平面镜(18)到达光电转换器(19)表面，转换为电压信号，经电混频处理单元(20)后到达数据采集和处理单元(21)完成角振动的测量。