| 摘要 |
<p>Rozprašovací elektroda je tvorena kobaltem (Co), více než 0 a nejvýše 24 atomárními procenty chromu(Cr), více než 0 a nejvýše 20 atomárními procentyplatiny (Pt), více než 0 a nejvýše 20 atomárními procenty boru (B) a více než 0 a nejvýše 10 atomárními procenty zlata (Au). Tato rozprašovací elektroda je dále tvorena X.sub.1.n., kde X.sub.1.n. je vybrán ze skupiny sestávající z wolframu (W), yttria (Y), manganu (Mn) a molybdenu (Mo). Tato rozprašovací elektroda je dále tvorena 0 až 7 atomárnímiprocenty X.sub.2.n., kde X.sub.2.n. je prvek vybraný ze skupiny sestávající z titanu (Ti), vanadu (V), zirkonia (Zr), niobu (Nb), ruthenia (Ru), rhodia (Rh), palladia (Pd), hafnia (Hf), tantalu (Ta) a iridia (Ir).</p> |
