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发明名称 METHOD FOR ENHANCING FIELD OXIDE AND INTEGRATED CIRCUIT WITH ENHANCED FIELD OXIDE
摘要
申请公布号 KR20070020472(A) 申请公布日期 2007.02.21
申请号 KR20067025051 申请日期 2005.05.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/266;H01L21/762;H01L21/8238;H01L29/00 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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