纳米吸气剂制备方法

摘要

纳米吸气剂制备方法，涉及一种吸气剂，尤其是涉及一种纳米吸气剂制备方法。提供一种表面积与体积比率高，吸附作用强，可沉积多种合金薄膜，制备工艺成熟的纳米吸气剂制备方法。其步骤为：采用化学气相沉积法在硅基上生长碳纳米管：先将溅射有催化剂的基底硅片样品放入石英管中抽真空，通保护气Ar+H₂，炉内加热，关闭Ar+H₂，通CH₄，反应结束关闭CH₄，在Ar+H₂的保护下冷却取出样品；在碳纳米管上均匀涂布Ti金属以增强吸气剂的化学吸附作用。

主权项

1.纳米吸气剂制备方法，其特征在于其步骤为：1)采用化学气相沉积法在硅基上生长碳纳米管：先将溅射有催化剂的基底硅片样品放入石英管中，并抽真空至100～250Torr，通25～200sccm的保护气Ar+H2至0.8～1.2atm，将炉内加热到850～1100℃，维持这个炉温，关闭Ar+H2，接着持续通25～200sccm的CH45～30min，反应结束，关闭CH4，在Ar+H2的保护下冷却至50～300℃，取出样品；2)在碳纳米管上均匀涂布厚度为10～50nmTi膜金属。