发明名称 |
集成电路存储单元及制备方法 |
摘要 |
一种集成电路存储单元,包括复合的第一电容器电极和第一晶体管源极/漏极(28)、第二电容器电极(20)、第一和第二电极之间的电容器电介质(24)、以及第一源极/漏极之上并包括该第一源极/漏极的垂直晶体管(30)。第二源极/漏极可以被包括在连接数位线(38)到垂直晶体管的晶体管沟道的数位线内部导体(40)中。沟道可以包括复合的第一电极和第一源极/漏极的半导电的向上延伸。存储单元可以包括在多个这种存储单元的阵列中,其中第二电极是多个存储单元的公共电极。存储单元可以提供第一电极和数位线之间的直线导电路径,该路径经过垂直晶体管延伸。 |
申请公布号 |
CN1918705A |
申请公布日期 |
2007.02.21 |
申请号 |
CN200480041851.5 |
申请日期 |
2004.12.15 |
申请人 |
微米技术有限公司 |
发明人 |
A·帕特森 |
分类号 |
H01L21/8242(2006.01);H01L27/108(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/8242(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
张雪梅;梁永 |
主权项 |
1.一种集成电路存储单元,包含:复合的第一电容器电极和第一晶体管源极/漏极;第二电容器电极;第一和第二电极之间的电容器电介质;以及第一源极/漏极之上的并包括该第一源极/漏极的垂直晶体管。 |
地址 |
美国爱达荷州 |