发明名称 集成电路存储单元及制备方法
摘要 一种集成电路存储单元,包括复合的第一电容器电极和第一晶体管源极/漏极(28)、第二电容器电极(20)、第一和第二电极之间的电容器电介质(24)、以及第一源极/漏极之上并包括该第一源极/漏极的垂直晶体管(30)。第二源极/漏极可以被包括在连接数位线(38)到垂直晶体管的晶体管沟道的数位线内部导体(40)中。沟道可以包括复合的第一电极和第一源极/漏极的半导电的向上延伸。存储单元可以包括在多个这种存储单元的阵列中,其中第二电极是多个存储单元的公共电极。存储单元可以提供第一电极和数位线之间的直线导电路径,该路径经过垂直晶体管延伸。
申请公布号 CN1918705A 申请公布日期 2007.02.21
申请号 CN200480041851.5 申请日期 2004.12.15
申请人 微米技术有限公司 发明人 A·帕特森
分类号 H01L21/8242(2006.01);H01L27/108(2006.01) 主分类号 H01L21/8242(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张雪梅;梁永
主权项 1.一种集成电路存储单元,包含:复合的第一电容器电极和第一晶体管源极/漏极;第二电容器电极;第一和第二电极之间的电容器电介质;以及第一源极/漏极之上的并包括该第一源极/漏极的垂直晶体管。
地址 美国爱达荷州