发明名称
摘要
申请公布号 JP3884854(B2) 申请公布日期 2007.02.21
申请号 JP19980046068 申请日期 1998.02.26
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址