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发明名称
摘要
申请公布号
JP3884854(B2)
申请公布日期
2007.02.21
申请号
JP19980046068
申请日期
1998.02.26
申请人
发明人
分类号
C23F4/00;H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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