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发明名称
摘要
申请公布号
JP3882511(B2)
申请公布日期
2007.02.21
申请号
JP20010045004
申请日期
2001.02.21
申请人
发明人
分类号
C30B15/00;H01L21/208
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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