显示器面板生产制程的异物检测方法

摘要

一种异物检测方法，是使用于检测制程平台或基板上的异物存在。利用一可微调位置的精密治具，架设一激光传感器于制程平台或基板的一侧边，并在制程平台或基板的另一侧边，相对于激光传感器的位置，置放一反射镜；接着，激光传感器提供一激光束，并接收经由反射镜反射的回馈光束，观察激光束由制程平台或基板的侧边，通过制程平台或基板表面时的强度衰减情形。

主权项

1.一种显示器面板生产制程的异物检测方法，该方法至少包含：安装一激光光源及一激光传感器，位于一待测物体的一第一侧边，其中，激光传感器安装于一治具上，用以微调激光传感器的高度与水平位置；提供一反射镜，位于待测物体的一第二侧边；利用激光光源提供一激光束，通过待测物体上方的一检测位置再传至反射镜，并通过反射镜形成一回馈光束；利用激光传感器接收回馈光束；以及观察回馈光束的强度。