发明名称 |
表面等离子共振传感器 |
摘要 |
一种表面等离子共振传感器,包括:具有基板(102)和金属层(103)的芯片、棱镜(104)、作为光源的光学系统(105)、和光检测器(106),其中,金属层(103)由形成为薄膜状的平坦部(109)、和相互隔开间隔配置的由金属微粒(110)等形成的凸部构成。在向这种结构的金属层(103)入射光时,可以得到分别由平坦部(109)和凸部引起的共振角。根据该共振角可以检测金属层所接触的介质的折射率变化。 |
申请公布号 |
CN1918467A |
申请公布日期 |
2007.02.21 |
申请号 |
CN200580004749.2 |
申请日期 |
2005.02.10 |
申请人 |
欧姆龙株式会社 |
发明人 |
西川武男;松下智彦;青山茂;乗冈茂巳;和沢铁一 |
分类号 |
G01N21/55(2006.01);G01N21/27(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/55(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
黄纶伟 |
主权项 |
1.一种表面等离子共振传感器用芯片,具有透光性基板和金属层,该金属层形成为在表面具有凹部或凸部、及位于所述凹部或凸部之间的平坦部,并覆盖所述基板的表面。 |
地址 |
日本国京都府 |