发明名称 |
在大气压下产生的浓等离子体对处理气体排放物的应用 |
摘要 |
本发明涉及一种用等离子体处理PFC或HFC的系统,上述系统包括:泵送装置(6)和装置(8),所述泵送装置(6)的出口是在一个基本上等于大气压的压力下,而所述装置(8)是在泵送装置出口处,以便产生一个在大气压下的等离子体。 |
申请公布号 |
CN1301342C |
申请公布日期 |
2007.02.21 |
申请号 |
CN02810693.8 |
申请日期 |
2002.05.21 |
申请人 |
液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司;液体气体电子系统公司 |
发明人 |
J-C·罗斯坦;D·介朗;C·拉尔凯;C-H·利;M·穆瓦桑;H·迪尔菲 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01);B01D53/70(2006.01);B01J19/12(2006.01);B01D53/32(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01) |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
杨晓光;李峥 |
主权项 |
1.一种利用等离子体处理气体的系统,包括:-一个泵送装置(6),所述泵送装置(6)的出口是在一基本上等于大气压的压力下;-在泵下游的装置(8),用于产生一种大气压等离子体,-所述用于产生等离子体的装置(8)能使等离子体以电子密度至少为1012cm-3而产生。 |
地址 |
法国巴黎 |