发明名称 | 多射束图像增强 | ||
摘要 | 本发明的一方面包括一种在工件上构图的方法,该工件至少是部分地被一电磁辐射敏感层所覆盖,通过使用在至少第一方向具有预定间距的多束射束,将一图案辐照到所述工件上,其中,所述预定间距固定为所述第一方向上的初始系统节距,该方法包括步骤:将所述第一方向上的图案节距缩放到所述系统节距的整数倍;将初始系统节距调节成一调节后系统节距,从而保持所述图案的缩放比例;将射束的所述预定间距调节到所述调节后系统节距。本发明的其他方面在说明书、附图和权利要求中得到反映。 | ||
申请公布号 | CN1918517A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
申请号 | CN200580004188.6 | 申请日期 | 2005.01.25 |
申请人 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 发明人 | 彼得·埃克伯格 |
分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平;杨梧 |
主权项 | 1.一种用于在工件上构图的方法,该工件至少部分地被电磁辐射敏感层覆盖,通过同时使用在至少第一方向上具有预定间距的多束射束在所述工件上辐照原始大小的图案,其中,所述预定间距被确定为所述第一方向上的初始系统节距,该方法包括以下步骤:-缩放所述第一方向上的图案节距为所述系统节距的整数倍,-将所述第一方向上的初始系统节距调节为调节后系统节距,从而保持所述工件上的所述图案的所述原始大小,-将射束的所述预定间距调节为所述调节后系统节距,从而减少所述工件上的图案中的CD误差。 | ||
地址 | 瑞典泰比 |