含苯醌－环戊二烯加成物的树脂化合物及含此的光阻剂组成物

摘要

本发明提供一种具有式(1)结构的树脂化合物，式(1)其中，R₁、R₂、R₃、R₄及R₅，以及a、b、c、d、e、f及g如本文中所定义。本发明另外提供一种包含上述式(1)的树脂化合物的光阻剂组成物。

主权项

1.一种具有式(1)结构的树脂化合物，式(1)其中：R₁、R₂、R₃及R₅各自独立地分别选自由氢、含1到15个碳原子的经取代或未经取代的直链或具支链的烷基、含3到15个碳原子的经取代或未经取代的环烷基、含3到15个碳原子的经取代或未经取代的杂环烷基及含6到15个碳原子的经取代或未经取代的芳基所组成的群组；R₄为＝O、-OR、-R或下式(2)的基团：式(2)其中R选自由氢、含1到15个碳原子的经取代或未经取代的直链或具支链的烷基、含1到15个碳原子的经取代或未经取代的直链或具支链的杂烷基、含1到15个碳原子的经取代或未经取代的环烷基、含1到15个碳原子的经取代或未经取代的杂环烷基、含6到15个碳原子的经取代或未经取代的芳基及含6到15个碳原子的经取代或未经取代的杂芳基所组成的群组，且其中杂烷基、杂环烷基及杂芳基中的杂原子是选自由O、N及S所组成的群组；及n为1到10；a为0到30的数值；b为0到30的数值；c为0到30的数值；d为0到30的数值；e为0到30的数值；f为0到20的数值；和g为0到10的数值。