| 发明名称 |
Micro-electro-mechanical system (MEMS) variable capacitor apparatuses, systems and related methods |
| 摘要 |
Micro-electro-mechanical system (MEMS) variable capacitor apparatuses, system and related methods are provided.
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| 申请公布号 |
US7180145(B2) |
申请公布日期 |
2007.02.20 |
| 申请号 |
US20030736283 |
申请日期 |
2003.12.15 |
| 申请人 |
WISPRY, INC. |
发明人 |
MUSALEM FRANCOIS-XAVIER;MORRIS, III ARTHUR S.;GILBERT JOHN RICHARD;BOUWSTRA SIEBE;RICHARDS RANDY J. |
| 分类号 |
H01G5/01;A63H13/16;H01G5/011;H01G5/04;H01G5/08;H01G5/10;H01G5/16;H01G5/18;H01G5/38;H01L21/20;H01L29/93;H01P1/10 |
主分类号 |
H01G5/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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