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发明名称
The method of reducing the linewidths and sizes of metallic, semiconducting, and insulating patterns
摘要
申请公布号
KR100684271(B1)
申请公布日期
2007.02.20
申请号
KR20050020405
申请日期
2005.03.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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