发明名称 The method of reducing the linewidths and sizes of metallic, semiconducting, and insulating patterns
摘要
申请公布号 KR100684271(B1) 申请公布日期 2007.02.20
申请号 KR20050020405 申请日期 2005.03.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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