AN APPARATUS FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFER,申请号KR19990047458-传众专利搜索

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发明名称	AN APPARATUS FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	KR100684196(B1)	申请公布日期	2007.02.20
申请号	KR19990047458	申请日期	1999.10.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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