检查装置

摘要

〔课题〕提供解决随着检查装置大型化而来的热问题的检查装置。〔解决手段〕一种具有：用来支撑液晶面板7的工件台2；和从背面照明被支撑在该工件台2的液晶面板7的背光3；和用来支撑该些工件台2与背光3并进行液晶面板7之定位的对准台4的检查装置1。在上述对准台4内从其前面侧贯通到背面侧而设置，且具备将因上述背光3被加热的空气朝向背面侧予以排出的空气通路28。在该空气通路28，具备将因上述背光3被加热的空气朝向背面侧予以排出的送风机10、29。